Helyum kompresörlerinin uygulanması1. Esas olarak yarı iletkenlerde kullanılır, ön uç işlem ekipmanında buharlaşma, püskürtme ve iyon implantasyon vakum sistemleri için koruyucu bir gaz görevi görür. Yarı iletken işleme sırasında ortaya çıkan kimyasal reaksiyonlar genellikle gazlara veya lik